img_07

О предприятии

Целями разработок являются:

1. Опережающее (более чем в 10раз) развитие нанометрологии на основе мер нового типа- не статических, а мер перемещения на основе монокристаллических линейных манипуляторов;

2. Повышение эффективности (на основе эффекта туннелирования света) более чем на десятки процентов излучения самых лучших светодиодов;

3. Многократное улучшение пространственного разрешения микроскопов за счет локализации электромагнитного излучения оптического диапазона в интегральных металло-оптических волноводах. 

 

 

 

 

Краткий перечень основных направлений разработок и производства:

1. Меры, линейные манипуляторы нано- пико –фемто и аттометрового диапазонов.

2. Специализированные аналого- цифровые высоковольтные электронные системы управления на сигнальных процессорах.

3. Оптические интерферометры нано- пико и фемтометрового диапазонов.

4. Специализированное программное обеспечение для обработки результатов интерферометрических измерений при амплитудах сигналов ниже уровня шумов.

5. Технология лазерного нанесения эксимерными лазерами, невидимой оценщиками, наномаркировки на алмазных материалах.

6. Оптоэлектронное оборудование для считывания наномаркировки.

7. Туннельные светодиоды с повышенной внешней квантовой эффективностью.

8. Спецпинцеты для захвата, перемещения, активации и осаждения макро, микро, нано и пикометровых частиц.

9. Ближнепольные волоконно-оптические микроскопы (включая интегрально- оптические зонды, волоконно- оптические интерферометры, наноманипуляторы, электронную систему управления и специализированное программное обеспечение).

10. Лабораторные работы по нанометрологии, нанотехнологии и наномеханике.

Техническое превосходство данных разработок, востребованность для практических приложений во всех странах, являются основой их экономической эффективности.

Одной из важнейших разработок, подтверждающая правильность проводимых измерений в нано и пикометровом диапазонах, является разработка мер перемещения.

В настоящее время пришла пора применения эталонов нанометрового диапазона с размерами в единицы и доли нанометров, которые могут работать не только в вакуумных установках, но и в реальных лабораторных и промышленных условиях с уровнем запыленности более 10 тыс. пылинок в литре. Мы разрабатываем меры нано и пикометрового диапазона, но не статические, а принципиально нового типа- активные, основанные на управляемом электрическим напряжением перемещении.

В настоящее время в «Нано-Атто Метрия» экспериментально подтверждена работоспособность мер в нанометровом, субнанометровом и во всем пикометровом диапазонах.

Продолжаем разработки, создавая задел для работ в фемтометровом и аттометровом диапазонах. Для измерения столь малых перемещений мы разработали интерферометры различных типов, которые могут встраиваться в метрологическое и технологическое оборудование, а также использоваться автономно. Мера перемещения, работающая во всем нанометровом диапазоне, позволяет заменить любой набор статических мер нанометрового диапазона, а также обеспечить калибровку измерительных установок в диапазоне даже значительно меньших размеров одиночного атома.

Для освоения данной техники в МГУ и МИРЭА проводятся лабораторные работы и читаются лекции. Сборник лабораторных работ, включающий обучение мерам перемещения вошел в состав лучших лабораторных работ страны и переиздавался.

Аналоги, позволяющие передавать размер длины одним образцом в столь широком диапазоне (в миллиарды раз) отсутствуют.

Демонстрация мер перемещения и оптических интерферометров, а также доклады о них производились на международных конференциях- выставках:

* MESUREXPOVISION 2011 (Франция).

* NANOTECH 2012 (США).

* NANO TECH 2012 (Япония).

* Nanoscale 2013 (Франция).

* NANOTECH 2013 (США).

* Метрология в нанотехнологиях (Росстандарт) 2014.

* Нанотехнологии-производству 2014 (Наукоград Фрязино, Россия) 2014.

* «КООМЕТ» 2014г (Россия).

* EURONANO 2015 (Латвия).

* Метрологическая выставка, Москва, ВДНХ, 2015

(на 11 Московском международном инновационном форуме).

Кроме того на международных выставках и конференциях STRATEGIES IN LIGHT EUROPE 2013, HANNOVER MESSE - 2014 (GERMANY) демонстрировались образцы светодиодов видимого и инфракрасного диапазонов с повышенной на десятки процентов внешней квантовой эффективностью.

На основе достигнутых результатов разрабатывается ряд приложений: уникальный оптический чип, ближнепольный оптический зондовый микроскоп и т.д.

Разработки, изготовление и испытания выполняет коллектив специалистов в областях:

технологий интегральной оптики, гибридных и монолитных электронных схем, технологий лазерной обработки, нанотехнологий локального осаждения.